半导体工业对阀门、测量和控制系统提出了严格的要求。为此，盖米开发了GEMÜ C53 iComLine电动控制阀。

构造和应用

两位两通柱塞隔膜阀GEMÜ C53 iComLine是为半导体生产中精密和高要求的控制应用而开发的。阀门的密封概念基于优良的GEMÜ PD设计，执行机构和介质由一个由耐磨的聚四氟乙烯调节锥隔开。GEMÜ C53 iComLine可根据客户要求定制调节锥、执行机构行程和连接尺寸，满足高科技半导体行业大部分的控制和流量要求。该阀适用于光刻、CMP和蚀刻工艺，以及在半导体生产工艺分析领域的应用。

优势与特点

GEMÜ C53 iComLine不仅有标准的两位两通结构，它也可以集成到GEMÜ PC50 iComLine 多通道阀体中，以便用较小的空间实现复杂的流程图。例如，当加工硅片时，可以在FOUP清洗机中使用多端口阀块来控制去离子水的温度。此外，止回阀和传感器可以集成到GEMÜ PCi50 iComLine 多通道阀体中。

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