前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)，是半导体制程中被用来保护、运送并储存晶圆的一种容器。在自动化单晶圆制程中，频繁地运输会形成（灰尘）颗粒，然后沉积在晶圆上。为防止这种情况，则需要定期清洗FOUP。

在清洗 FOUP 时，必须尽可能保持高效率，以避免晶圆制造过程中出现停机的状况。因此，该工艺对所使用的阀门、测量和控制系统提出了严格的要求。

工|艺|要|求

所有与介质接触的部件必须由超纯氟塑料制成

在各种混合条件下处理介质（气体和去离子水）

通过持续检查运行参数，可靠地混合所使用的清洗介质（不同的温度、混合条件等）

所用的阀门、测量和控制系统设计紧凑

清洗FOUP的关键点就是需要对清洗介质进行精确控制。盖米为此提供了解决方案——将采用创新PD设计和带步进电机的高分辨率直行程执行器的盖米阀门GEMÜ C53 iComLine（电动控制阀）集成于GEMÜ PC50多通道阀，其可实现调节两个不同的输入温度，以确保恒定的输出温度，并可防止潜在的回流（如下图所示）。