几乎所有的半导体生产工艺段中都会使用化学品，尤其是净化、涂层和蚀刻工艺。它们所使用的腐蚀性、超高纯度化学品对系统及其组件的纯度及化学耐受性提出了严格的要求。这就是为什么在化学品混合和供应系统中特别推荐使用由高质量的氟聚合物塑料制成的隔膜阀。

接下来将以Diversified Fluid Solutions (DFS)化学品混合系统为例，了解更多盖米适用于半导体生产的产品和解决方案。

DFS化学品混合系统

DFS按需混合系统可生产高纯度的氢氧化铵(NH₄OH)，它是氨气(NH₃)和高纯度水的组合。NH₃ + H₂O ⇌ NH₄+ OH⁻DFS系统可生产杂质含量低于10 ppt检出限的超高纯度(UHP)化学混合物，因此其工艺可靠性较高。该系统通过将输入的氨气(NH₃)源与客户或工厂的超高纯度(UPW)供应相结合，从而混合氢氧化铵NH₄OH。混合是通过原位测量技术和超高纯度过滤完成的，可防止在微芯片的后期生产过程中出现化学污染。

盖米阀门（中国）作为半导体制造领域的领先设备制造商之一，盖米很荣幸能与DFS建立稳定的合作关系。Diversified Fluid Solutions专注于超纯化学品的输送、浆料的精确混合，其拥有超过750套配备先进的仪器、集成和控制部件的高纯度流体管理系统。

DFS系统对所用阀门及系统元件提出了很高的要求。除了化学耐受性和高纯度材料是基本要求外，还需要有温和的介质处理能力和较长的使用寿命。GEMÜ CleanStar隔膜阀系列能满足所有这些要求。除了可靠和强大的产品组合外，盖米在半导体行业有着丰富经验，通过不断地创新设计，专注于提高产品质量和贴近客户需求。

GEMÜ C60/C67 CleanStar

高流量

• 高Kv/Cv值

• 使用寿命长

• 温和的介质处理

多种阀体和连接方式选择

• V型阀体

• 两通阀体

• T型阀体

• 节省空间的连接方式

• Flare接口、PrimeLock接口、软管焊接等不同连接方式

无金属设计

• 污染小

• 高化学耐受性